提(tí)交
SEM3200是(shì)一(yī)款高(gāo)性(xìng)能、應(yìng)用(yòng)廣泛的(de)通(tòng)用(yòng)型钨燈(dēng)丝(sī)掃描电子顯微鏡(jìng)。拥有(yǒu)出(chū)色(sè)的(de)成像質(zhì)量(liàng)、可(kě)兼容低(dī)真(zhēn)空(kōng)模式、在(zài)不(bù)同(tóng)的(de)視场(chǎng)範圍下(xià)均可(kě)得到(dào)高(gāo)分(fēn)辨率图(tú)像。
大(dà)景深，成像富有(yǒu)立體(tǐ)感(gǎn)。丰富的(de)擴展(zhǎn)性(xìng)，助您在(zài)顯微成像的(de)世界中(zhōng)盡情(qíng)探索。
SEBSEEDSEBSD等
光(guāng)学導航
可(kě)快(kuài)速定(dìng)位(wèi)目标(biāo)樣(yàng)品和(hé)感(gǎn)兴趣区域
*大(dà)图(tú)拼接
可(kě)實(shí)現(xiàn)全(quán)自(zì)動(dòng)的(de)采图(tú)和(hé)拼接，展(zhǎn)示超大(dà)視野画(huà)面(miàn)
图(tú)像混合成像（SE+BSE）
在(zài)一(yī)个(gè)图(tú)像中(zhōng)觀察到(dào)樣(yàng)品的(de)成分(fēn)和(hé)表(biǎo)面(miàn)信(xìn)息
*双(shuāng)陽极(jí)結構
双(shuāng)陽极(jí)結構設計(jì)，提(tí)升(shēng)了低(dī)电壓下(xià)的(de)分(fēn)辨率和(hé)成像質(zhì)量(liàng)
*低(dī)真(zhēn)空(kōng)模式
在(zài)低(dī)真(zhēn)空(kōng)下(xià)提(tí)供樣(yàng)品表(biǎo)面(miàn)细(xì)节(jié)和(hé)形貌，软(ruǎn)件(jiàn)一(yī)鍵切(qiè)換真(zhēn)空(kōng)狀态
产品特(tè)點(diǎn)（*为選配件(jiàn)）
▶ 低(dī)电壓
碳材料樣(yàng)品，低(dī)电壓下(xià)，穿透深度(dù)較小，可(kě)以(yǐ)獲取(qǔ)樣(yàng)品表(biǎo)面(miàn)真(zhēn)實(shí)形貌，细(xì)节(jié)更(gèng)丰富。
毛(máo)發(fà)樣(yàng)品，在(zài)低(dī)电壓下(xià)，电子束(shù)輻照損傷減小，同(tóng)时(shí)消除了荷电效應(yìng)。
▶ 低(dī)真(zhēn)空(kōng)
过(guò)濾纖維管(guǎn)材料，導电性(xìng)差，在(zài)高(gāo)真(zhēn)空(kōng)下(xià)荷电明(míng)顯，在(zài)低(dī)真(zhēn)空(kōng)下(xià)，无需鍍膜即可(kě)實(shí)現(xiàn)对(duì)不(bù)導电樣(yàng)品的(de)直(zhí)接觀察。
▶ 大(dà)視场(chǎng)
生(shēng)物(wù)樣(yàng)品，采用(yòng)大(dà)視场(chǎng)觀察，能夠輕(qīng)松獲得瓢蟲整體(tǐ)形貌及(jí)头(tóu)部(bù)結構细(xì)节(jié)，展(zhǎn)現(xiàn)跨尺(chǐ)度(dù)分(fēn)析。
▶ 導航&防碰撞
光(guāng)学導航
标(biāo)配倉內(nèi)攝像头(tóu)，可(kě)拍攝高(gāo)清(qīng)樣(yàng)品台(tái)照片(piàn)，快(kuài)速定(dìng)位(wèi)樣(yàng)品。
手(shǒu)勢快(kuài)捷導航
如(rú)框選放大(dà)：在(zài)低(dī)倍導航下(xià)，獲得樣(yàng)品的(de)大(dà)視野情(qíng)况，可(kě)快(kuài)速框選您感(gǎn)兴趣的(de)樣(yàng)品区域，提(tí)高(gāo)工作(zuò)效率。
防碰撞技術(shù)
1. 手(shǒu)動(dòng)輸入(rù)樣(yàng)品高(gāo)度(dù)，精準控制樣(yàng)品與(yǔ)物(wù)鏡(jìng)下(xià)端距離，防止發(fà)生(shēng)碰撞；
2. 基于图(tú)像識别和(hé)動(dòng)态捕捉技術(shù)，運動(dòng)过(guò)程中(zhōng)对(duì)倉內(nèi)的(de)画(huà)面(miàn)进行實(shí)时(shí)監測；
3. 硬(yìng)件(jiàn)防碰撞，可(kě)在(zài)碰撞一(yī)瞬间停止电機(jī)，減少(shǎo)碰撞損傷。(*SEM3200A需選配此功能）
特(tè)色(sè)功能
智能輔助消像散(sàn)
直(zhí)觀反(fǎn)映整个(gè)視野的(de)像散(sàn)程度(dù)，通(tòng)过(guò)鼠标(biāo)點(diǎn)擊清(qīng)晰處(chù)，可(kě)快(kuài)速調节(jié)像散(sàn)至(zhì)最(zuì)佳。
自(zì)動(dòng)聚焦
一(yī)鍵聚焦，快(kuài)速成像。
自(zì)動(dòng)消像散(sàn)
一(yī)鍵消像散(sàn)，提(tí)高(gāo)工作(zuò)效率。
自(zì)動(dòng)亮(liàng)度(dù)对(duì)比度(dù)
一(yī)鍵自(zì)動(dòng)亮(liàng)度(dù)对(duì)比度(dù)，調出(chū)灰度(dù)合适图(tú)像。
多種(zhǒng)信(xìn)息同(tóng)时(shí)成像
SEM3200软(ruǎn)件(jiàn)支持(chí)一(yī)鍵切(qiè)換SE和(hé)BSE的(de)混合成像。可(kě)同(tóng)时(shí)觀察到(dào)樣(yàng)品的(de)形貌信(xìn)息和(hé)成分(fēn)信(xìn)息。
快(kuài)速图(tú)像旋轉(zhuǎn)
拖動(dòng)一(yī)条(tiáo)線(xiàn)，图(tú)像立刻(kè)“擺正(zhèng)角度(dù)”。
丰富拓展(zhǎn)性(xìng)
掃描电子顯微鏡(jìng)不(bù)僅局(jú)限于表(biǎo)面(miàn)形貌的(de)觀察，更(gèng)可(kě)以(yǐ)进行樣(yàng)品表(biǎo)面(miàn)的(de)微区成分(fēn)分(fēn)析。
SEM3200接口(kǒu)丰富，除支持(chí)常規的(de)二(èr)次(cì)电子探測器（ETD）、背散(sàn)射电子探測器（BSED）、X射線(xiàn)能譜仪（EDS）外(wài)，也(yě)預留了諸多接口(kǒu)，如(rú)电子背散(sàn)射衍射（EBSD）、陰极(jí)射線(xiàn)（CL）等探測器都可(kě)以(yǐ)在(zài)SEM3200上(shàng)进行集成。
背散(sàn)射电子探測器
二(èr)次(cì)电子成像和(hé)背散(sàn)射电子成像对(duì)比
背散(sàn)射电子成像模式下(xià)，荷电效應(yìng)明(míng)顯減弱(ruò)，并且(qiě)可(kě)以(yǐ)獲得樣(yàng)品表(biǎo)面(miàn)更(gèng)多的(de)成分(fēn)信(xìn)息。
鍍层(céng)樣(yàng)品：
钨鋼(gāng)合金(jīn)樣(yàng)品：
四(sì)分(fēn)割背散(sàn)射电子探測器——多通(tòng)道(dào)成像
探測器設計(jì)精巧，靈敏度(dù)高(gāo)，采用(yòng)4分(fēn)割設計(jì)，无需傾斜樣(yàng)品，可(kě)獲得不(bù)同(tóng)方(fāng)向(xiàng)的(de)陰影像以(yǐ)及(jí)成分(fēn)分(fēn)布(bù)图(tú)像。
能譜
LED小燈(dēng)珠(zhū)能譜面(miàn)分(fēn)析結果(guǒ)。
电子背散(sàn)射衍射
钨燈(dēng)丝(sī)电鏡(jìng)束(shù)流大(dà)，完全(quán)滿足高(gāo)分(fēn)辨EBSD的(de)測试需求，能夠对(duì)金(jīn)屬、陶瓷、礦物(wù)等多晶材料进行晶體(tǐ)取(qǔ)向(xiàng)标(biāo)定(dìng)以(yǐ)及(jí)晶粒(lì)度(dù)大(dà)小等分(fēn)析。
该图(tú)为Ni金(jīn)屬标(biāo)樣(yàng)的(de)EBSD反(fǎn)极(jí)图(tú)，能夠識别晶粒(lì)大(dà)小和(hé)取(qǔ)向(xiàng)，判斷晶界和(hé)孿晶，对(duì)材料組織結構进行精确判斷。
應(yìng)用(yòng)案(àn)例
产品參數
| 型号(hào) | SEM3200A | SEM3200 | ||
|---|---|---|---|---|
| 电子光(guāng)学系統 | 电子枪類(lèi)型 | 預对(duì)中(zhōng)型發(fà)叉(chā)式钨燈(dēng)丝(sī)电子枪 | ||
| 分(fēn)辨率 | 高(gāo)真(zhēn)空(kōng) | 3 nm @ 30 kV（SE） | ||
| 4 nm @ 30 kV（BSE） | ||||
| 8 nm @ 3 kV（SE） | ||||
| *低(dī)真(zhēn)空(kōng) | 3 nm @ 30 kV（SE） | |||
| 放大(dà)倍率 | 1-300,000x（底片(piàn)倍率） | |||
| 1-1000,000x（屏幕倍） | ||||
| 加速电壓 | 0.2 kV～30 kV | |||
| 成像系統 | 探測器 | 二(èr)次(cì)电子探測器（ETD） | ||
| *背散(sàn)射电子探測器、*低(dī)真(zhēn)空(kōng)二(èr)次(cì)电子探測器、*能譜仪EDS等 | ||||
| 图(tú)像保存格式 | TIFF、JPG、BMP、PNG | |||
| 真(zhēn)空(kōng)系統 | 真(zhēn)空(kōng)模式 | 高(gāo)真(zhēn)空(kōng) | 優于5×10-4 Pa | |
| *低(dī)真(zhēn)空(kōng) | 5～1000 Pa | |||
| 控制方(fāng)式 | 全(quán)自(zì)動(dòng)控制 | |||
| 樣(yàng)品室(shì) | 攝像头(tóu) | 光(guāng)学導航 | ||
| 樣(yàng)品倉內(nèi)監控 | ||||
| 樣(yàng)品台(tái)配置 | 三(sān)軸自(zì)動(dòng) | 五(wǔ)軸自(zì)動(dòng) | ||
| 行程 | X: 120 mm | X: 120 mm | ||
| Y: 115 mm | Y: 115 mm | |||
| Z: 50 mm | Z: 50 mm | |||
| / | R: 360° | |||
| / | T: -10°～ +90° | |||
| 软(ruǎn)件(jiàn) | 語(yǔ)言 | 中(zhōng)文(wén) | ||
| 操作(zuò)系統 | Windows | |||
| 導航 | 光(guāng)学導航、手(shǒu)勢快(kuài)速導航 | |||
| 自(zì)動(dòng)功能 | 自(zì)動(dòng)亮(liàng)度(dù)对(duì)比度(dù)、自(zì)動(dòng)聚焦、自(zì)動(dòng)像散(sàn) | |||
| 特(tè)色(sè)功能 | 智能輔助消像散(sàn)、*大(dà)图(tú)拼接（選配软(ruǎn)件(jiàn)） | |||
| 安(ān)裝(zhuāng)要求 | 房(fáng)间 | 长(cháng) ≥ 3000 mm，宽(kuān) ≥ 4000 mm，高(gāo) ≥ 2300 mm | ||
| 温(wēn)度(dù) | 20 ℃～25 ℃ | |||
| 湿(shī)度(dù) | ≤ 50 % | |||
| 电气(qì)參數 | 电源AC 220 V(±10 %)，50 Hz，2 kVA | |||
