提(tí)交
SEM5000是(shì)一(yī)款分(fēn)辨率高(gāo)、功能丰富的(de)场(chǎng)發(fà)射掃描电子顯微鏡(jìng)。
先(xiān)进的(de)鏡(jìng)筒設計(jì)，高(gāo)壓隧道(dào)技術(shù)（SuperTunnel）、低(dī)像差无漏磁物(wù)鏡(jìng)設計(jì)，實(shí)現(xiàn)了低(dī)电壓高(gāo)分(fēn)辨率成像，同(tóng)时(shí)磁性(xìng)樣(yàng)品可(kě)适用(yòng)。光(guāng)学導航、完善的(de)自(zì)動(dòng)功能、精心(xīn)設計(jì)的(de)人(rén)機(jī)交互，優化(huà)的(de)操作(zuò)和(hé)使用(yòng)流程，无論經(jīng)验(yàn)是(shì)否丰富，都可(kě)以(yǐ)快(kuài)速上(shàng)手(shǒu)，完成高(gāo)分(fēn)辨率拍攝任務(wù)。
| 电子枪類(lèi)型 | 分(fēn)辨率 | 放大(dà)倍率 | 加速电壓 | 樣(yàng)品台(tái) |
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肖特(tè)基 场(chǎng)發(fà)射电子枪 |
0.9 nm @ 15 kV，SE 1.3 nm @ 1 kV，SE 0.8nm @ 30 kV，STEM |
1 ~ 2,500,000 x | 20 V ~ 30 kV | 五(wǔ)軸全(quán)自(zì)動(dòng)樣(yàng)品台(tái) |
产品特(tè)點(diǎn)
01 分(fēn)辨率高(gāo)，低(dī)加速电壓下(xià)實(shí)現(xiàn)高(gāo)分(fēn)辨成像
02 电磁複合物(wù)鏡(jìng)，減小像差，顯著提(tí)高(gāo)低(dī)电壓下(xià)的(de)分(fēn)辨率，而(ér)且(qiě)可(kě)觀察磁性(xìng)樣(yàng)品
03 高(gāo)壓隧道(dào)技術(shù)(SuperTunnel) ，在(zài)隧道(dào)中(zhōng)的(de)电子能保持(chí)高(gāo)能量(liàng)，減少(shǎo)了空(kōng)间电荷效應(yìng)，低(dī)电壓分(fēn)辨率得到(dào)保證
04 电子光(guāng)路(lù)无交叉(chā)，有(yǒu)效的(de)降低(dī)系統像差，提(tí)升(shēng)分(fēn)辨能力
05 水(shuǐ)冷(lěng)恒温(wēn)物(wù)鏡(jìng)，保證物(wù)鏡(jìng)工作(zuò)的(de)穩定(dìng)性(xìng)、可(kě)靠性(xìng)和(hé)可(kě)重(zhòng)複性(xìng)
06 磁偏轉(zhuǎn)六孔可(kě)調光(guāng)闌，自(zì)動(dòng)切(qiè)換光(guāng)闌孔，无需機(jī)械調节(jié)，實(shí)現(xiàn)高(gāo)分(fēn)辨率觀察或(huò)大(dà)束(shù)流分(fēn)析模式快(kuài)速切(qiè)換
應(yìng)用(yòng)领域
應(yìng)用(yòng)案(àn)例
产品參數
| 關(guān)鍵參數 | 分(fēn)辨率 |
0.9 nm @ 15 kV，SE 0.8 nm @ 30 kV，STEM |
| 加速电壓 | 20 V ～ 30 kV | |
| 放大(dà)倍率 | 1 ～ 2,500,000 x | |
| 电子枪類(lèi)型 | 肖特(tè)基场(chǎng)發(fà)射电子枪 | |
| 樣(yàng)品室(shì) | 真(zhēn)空(kōng)系統 | 全(quán)自(zì)動(dòng)控制 |
| 攝像头(tóu) |
双(shuāng)攝像头(tóu) （光(guāng)学導航+樣(yàng)品倉內(nèi)監控） |
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樣(yàng)品台(tái)行程 |
X: 125 mm，Y: 125 mm，Z: 50 mm （* 可(kě)選配超大(dà)倉體(tǐ)版本(běn)） |
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| 探測器和(hé)擴展(zhǎn) | 标(biāo)配 |
鏡(jìng)筒內(nèi)高(gāo)角度(dù)电子探測器 側向(xiàng)低(dī)角度(dù)电子探測器 |
| 選配 |
插入(rù)式背散(sàn)射电子探測器 轨迹球 & 旋鈕控制闆 |
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| 软(ruǎn)件(jiàn) | 語(yǔ)言 | 中(zhōng)文(wén) |
| 操作(zuò)系統 | Windows | |
| 導航 | 光(guāng)学導航、手(shǒu)勢快(kuài)捷導航 | |
| 自(zì)動(dòng)功能 | 自(zì)動(dòng)亮(liàng)度(dù)对(duì)比度(dù)、自(zì)動(dòng)聚焦、自(zì)動(dòng)像散(sàn) |
